Title:
光吸収性基板の表面の微細構造化
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5690348
Kind Code:
B2
Abstract:
Etched substrates, and particularly, light-absorbing etched substrates, and methods for making such substrates are described.
Inventors:
チャン， ジュン−イン
スミス， テリー エル．
ハオ， ビン
スミス， テリー エル．
ハオ， ビン
Application Number:
JP2012538866A
Publication Date:
March 25, 2015
Filing Date:
November 08, 2010
Export Citation:
Assignee:
スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
International Classes:
H01L21/3065; H01L21/306; H01L51/44
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshinori Shimizu
Ikeda Adult
Yoshinori Shimizu
Ikeda Adult