Title:
感圧素子、圧力センサ、および感圧素子製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5782582
Kind Code:
B1
Abstract:
平坦な状態および屈曲した状態のいずれの使用においても、良好な初期検知感度を発揮可能とし、かつ初期状態における短絡が防止された感圧センサ、感圧素子を備える圧力センサ、および感圧素子製造方法を提供する。感圧素子１００は、支持基板１１と、支持基板１１に支持されたセンサ電極１２と、センサ電極１２に対向する位置に少なくとも導電機能を有する感圧膜１４と、センサ電極１２および感圧膜１４を互いに離間させるための所定の距離Ａを確保するとともに感圧膜１４に対しセンサ電極１２を露出させる開口部２０を有する絶縁層１３と、を有し、絶縁層１３は、開口部２０を区画形成する開口壁面１３ｂと、感圧膜１４側の開口端部（開口上端部１３ａ）と、を有し、支持基板１１を基準として、絶縁層１３は、開口部２０に向かって高さが連続的に増大している。
Inventors:
Masayuki Iwase
Keizo Toyama
Oozakizaki
Hirokazu Odate
Kisuke Taisuke
Ryoichi Teshima
Keizo Toyama
Oozakizaki
Hirokazu Odate
Kisuke Taisuke
Ryoichi Teshima
Application Number:
JP2015515750A
Publication Date:
September 24, 2015
Filing Date:
January 14, 2015
Export Citation:
Assignee:
Nippon Mektron Co., Ltd.
International Classes:
G01L1/20; G01L5/00
Domestic Patent References:
| JP3017968B2 | 2000-03-13 | |||
| JP2002525564A | 2002-08-13 | |||
| JP3980300B2 | 2007-09-26 |
Foreign References:
| WO2012165082A1 | 2012-12-06 |
Attorney, Agent or Firm:
Shunsuke Umeda
Yukiko Kurita
Yukiko Kurita
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