Title:
クリーンルーム用設備及びクリーンルームの空調方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5800293
Kind Code:
B2
Inventors:
Makoto Tanaka
Masashi Kinoshita
Daisuke Iwayama
Shimozono Gouji
Atsushi Yoshiki
Masashi Kinoshita
Daisuke Iwayama
Shimozono Gouji
Atsushi Yoshiki
Application Number:
JP2011131071A
Publication Date:
October 28, 2015
Filing Date:
June 13, 2011
Export Citation:
Assignee:
株式会社日立製作所
国立研究開発法人理化学研究所
国立研究開発法人理化学研究所
International Classes:
F24F7/06
Domestic Patent References:
| JP62223545A | ||||
| JP2150643A |
Attorney, Agent or Firm:
Isono Dozo
Etsuo Tada
Etsuo Tada