Title:
カーボンナノチューブ製造用触媒粒子の保持構造及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5808468
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】容易に製造できる触媒粒子の保持構造及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の触媒粒子の保持構造１１の製造方法は、Ｓｉ、Ａｌ、及びＦｅを含む触媒粒子形成層３を形成する工程と、酸素を含む雰囲気中で触媒粒子形成層３を熱処理し、Ｆｅを含み、触媒粒子形成層３に一部が埋没して保持された触媒粒子２を形成する工程とを備えるので、熱処理時の雰囲気の酸素量を調整することで、形成されるＦｅを含む触媒粒子２の大きさや数を調整することができ、容易に触媒粒子の保持構造１１を形成することができる。【選択図】図１
Inventors:
Takuji Komukai
Shimomoto temperature
Teruhira Hiromi
Shimomoto temperature
Teruhira Hiromi
Application Number:
JP2014177265A
Publication Date:
November 10, 2015
Filing Date:
September 01, 2014
Export Citation:
Assignee:
Nitta Corporation
International Classes:
B01J23/745; B01J37/08; C01B31/02
Domestic Patent References:
| JP2012091082A | ||||
| JP2010138033A | ||||
| JP2007117881A | ||||
| JP2011092828A |
Other References:
W.-Y. WU et al.,The effect of an Al underlayer on Fe-Si thin film catalysts for the improved growth of carbon nanotubes,Carbon,2011, 49, 4589-4594.
T. DE LOS ARCOS et al.,Is aluminum a suitable buffer layer for carbon nanotube growth?,Chemical Physics Letters,2003, 380, 419-423.
T. DE LOS ARCOS et al.,Is aluminum a suitable buffer layer for carbon nanotube growth?,Chemical Physics Letters,2003, 380, 419-423.
Attorney, Agent or Firm:
Masayoshi Yoshida
Hiromitsu Imaeda
Umemura Hiroaki
Hiromitsu Imaeda
Umemura Hiroaki