Title:
複合基板および機能素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5828993
Kind Code:
B1
Abstract:
サファイア基板、およびサファイア基板上に結晶成長した窒化ガリウム結晶層を備える複合基板において、その上に１３族元素窒化物からなる機能層を形成するときに、機能のバラツキを抑制する。複合基板４は、サファイア基板１Ａ、およびサファイア基板１Ａ上に設けられた窒化ガリウム結晶層３を備える。複合基板４の反りが５．０８ｃｍ当たり、＋４０μｍ以上、＋８０μｍ以下である。【選択図】 図１
Inventors:
Makoto Iwai
Katsuhiro Imai
Masahiro Sakai
Katsuhiro Imai
Masahiro Sakai
Application Number:
JP2015520763A
Publication Date:
December 09, 2015
Filing Date:
December 15, 2014
Export Citation:
Assignee:
Nippon Insulator Co., Ltd.
International Classes:
C30B29/38
Domestic Patent References:
| JP2007106667A | 2007-04-26 | |||
| JP2003063897A | 2003-03-05 | |||
| JP4301251B2 | 2009-07-22 | |||
| JP2006054231A | 2006-02-23 | |||
| JP2005136167A | 2005-05-26 | |||
| JP2009111423A | 2009-05-21 |
Foreign References:
| WO2013022122A1 | 2013-02-14 | |||
| WO2013176291A1 | 2013-11-28 | |||
| WO2011129246A1 | 2011-10-20 | |||
| WO2013051163A1 | 2013-04-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Masumi Hosoda
Juno Aoki
Juno Aoki