Title:
バルブ、流体制御装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5850210
Kind Code:
B1
Abstract:
流体制御装置(100)は、圧電ポンプ(10)と吸入器(9)とバルブ(101)とを備える。圧電ポンプ(10)は、気体の吸引孔(53)と気体の吐出孔(24)とを有する。吸入器(9)は、容器(90)と吸入口(91)と接続孔(92)とを有する。バルブ(101)は、第1通気孔(111)と第2通気孔(112)と第3通気孔(113)と第1弁筺体(191)と第2弁筺体(192)とダイヤフラム(120)とを有する。バルブ(101)の第1通気孔(111)は吸入器(9)の接続孔(92)に接続する。バルブ(101)の第2通気孔(112)は圧電ポンプ(10)の吸引孔(53)に接続する。バルブ(101)の第3通気孔(113)は大気開放されている。ダイヤフラム(120)は、第1弁筺体(191)及び第2弁筺体(192)に挟持され、第1領域と第2領域を構成する。
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Inventors:
Kiyoshi Kurihara
Susumu Takeuchi
Susumu Takeuchi
Application Number:
JP2015544259A
Publication Date:
February 03, 2016
Filing Date:
May 08, 2015
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
F16K7/17; A61G12/00; A61M1/06; A61M27/00
Domestic Patent References:
JP5185475B2 | 2013-04-17 | |||
JPH11178915A | 1999-07-06 | |||
JP2013074914A | 2013-04-25 | |||
JPS63163157U | 1988-10-25 |
Foreign References:
WO2010137578A1 | 2010-12-02 |
Attorney, Agent or Firm:
Kaede International Patent Office
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