Title:
急速昇降温熱処理炉
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5877920
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】熱処理工程に於いて省エネルギー、短TAT、小型小フットプリント、低ランニングコストそして少量多品種生産に対応する低価格を可能とする誘導加熱を用いた急速昇降温熱処理炉を提供する。【解決手段】本発明の熱処理炉は、筒状の第１の発熱体１と、第１の発熱体よりも電気抵抗率が小さい筒状の第２の発熱体２，２ａと、誘導加熱コイル３とを備え、外側から、誘導加熱コイル、第１の発熱体、および第２の発熱体の順に同心状に配置されており、誘導加熱コイルに高周波電流を流すことにより、第１の発熱体及び第２の発熱体の両方を誘導加熱によって発熱させる。【選択図】図１
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Inventors:
石井 勝美
Application Number:
JP2015090932A
Publication Date:
March 08, 2016
Filing Date:
April 28, 2015
Export Citation:
Assignee:
株式会社ワイエイシイデンコー
International Classes:
H05B6/10; F27D11/06; H01G13/00; H01L21/31; H01L21/324
Domestic Patent References:
| JPH0644511B2 | 1994-06-08 | |||
| JPS58154194A | 1983-09-13 | |||
| JP2005141914A | 2005-06-02 | |||
| JP2006026614A | 2006-02-02 | |||
| JP2005226928A | 2005-08-25 | |||
| JPH11233245A | 1999-08-27 | |||
| JP2006351204A | 2006-12-28 | |||
| JP2010255865A | 2010-11-11 | |||
| JP2011238449A | 2011-11-24 | |||
| JP2012113914A | 2012-06-14 | |||
| JP2003151737A | 2003-05-23 | |||
| JP2004071596A | 2004-03-04 | |||
| JP2012151433A | 2012-08-09 | |||
| JPH0287494A | 1990-03-28 | |||
| JP2002343543A | 2002-11-29 | |||
| JP2012186186A | 2012-09-27 | |||
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| JP2001155845A | 2001-06-08 | |||
| JP2002144341A | 2002-05-21 | |||
| JP2007163929A | 2007-06-28 | |||
| JP2002299031A | 2002-10-11 | |||
| JPS5343004A | 1978-04-18 |
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人前田特許事務所