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Title:
オリゴシラン又はポリシランを形成する方法、及び、半導体フィルムを形成する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5881225
Kind Code:
B2
Inventors:
クンゼ、クラウス
ナイス、グレゴリー
グオ、ウェンジュオ
Application Number:
JP2014522805A
Publication Date:
March 09, 2016
Filing Date:
August 01, 2011
Export Citation:
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Assignee:
シン フィルム エレクトロニクス エーエスエー
International Classes:
C01B33/04; C08G77/00; C08G79/00; C09D11/00
Domestic Patent References:
JP6246164A
JP5032785A
JP62241926A
JP2010526445A
Attorney, Agent or Firm:
龍華国際特許業務法人



 
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