Title:
熱電熱交換システムに関するシステムおよび方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6378464
Kind Code:
B1
Abstract:
本開示の実施形態は、複数の熱電冷却器（ＴＥＣ）を制御して、チャンバーの設定点温度を維持することに関する。一実施形態では、コントローラは、チャンバーの温度に対応する温度データを受信する。温度データに基づいて、コントローラは、２つまたは３つ以上のＴＥＣのサブセットを選択的に制御して、チャンバーの温度を所望の設定点温度に維持する。このようにして、コントローラは、ＴＥＣが効率的にチャンバーの温度を設定点温度に維持するようにＴＥＣを動作するように制御可能とされる。別の実施形態では、コントローラは、温度データおよび所望の成績特性に基づいて、コントローラによって可能とされた１つまたは２つ以上の制御スキームを選択する。次いで、コントローラは、選択された制御スキーム（複数可）にしたがって、１つまたは２つ以上のＴＥＣのサブセットを独立に制御する。【選択図】図１
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Inventors:
Edwards, Jessie, W.
Terien, Robert, Joseph
Jun, M., Shane
Yadav, Abhishek
Summers, III, James, Burton
Terien, Robert, Joseph
Jun, M., Shane
Yadav, Abhishek
Summers, III, James, Burton
Application Number:
JP2018080683A
Publication Date:
August 22, 2018
Filing Date:
April 19, 2018
Export Citation:
Assignee:
Phononic Devices, Inc.
International Classes:
F25B21/02; F25D11/00
Domestic Patent References:
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Foreign References:
| US20080236175 |
Attorney, Agent or Firm:
Eichi International Patent Office