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Title:
ネガ型感光性樹脂組成物、電子装置、ネガ型感光性ポリマーの製造方法、およびネガ型感光性樹脂組成物の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6398310
Kind Code:
B2
Inventors:
大西 治
池田 陽雄
Application Number:
JP2014101826A
Publication Date:
October 03, 2018
Filing Date:
May 15, 2014
Export Citation:
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Assignee:
住友ベークライト株式会社
International Classes:
G03F7/038; C08F8/14; C08F232/08; C08F290/12; G03F7/004; G03F7/027
Domestic Patent References:
JP2006243564A
JP2007206165A
JP2008180992A
JP2001183521A
JP2001125272A
JP2001187807A
Foreign References:
WO2011129182A1
Attorney, Agent or Firm:
速水 進治