Title:
支持シート及び保護膜形成用複合シート
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6410386
Kind Code:
B1
Abstract:
この支持シートは、基材を備え、基材上に粘着剤層を備えており、基材の粘着剤層側の面が凹凸面であり、支持シートの５箇所から、大きさが３ｍｍ×３ｍｍの試験片を切り出し、これら５枚の試験片において、粘着剤層の前記基材側において、隣接する凸部の頂点間のピッチの平均値を求めたとき、前記ピッチの平均値の平均値が３μｍ以上１５μｍ未満となる。保護膜形成用複合シートは、この支持シート中の粘着剤層上に、保護膜形成用フィルムを備えている。
Inventors:
Naoki Saeki
Kenta Furuno
Kenta Furuno
Application Number:
JP2018540073A
Publication Date:
October 24, 2018
Filing Date:
March 30, 2018
Export Citation:
Assignee:
LINTEC CORPORATION
International Classes:
H01L21/301; C09J7/20; H01L23/00
Domestic Patent References:
| JP6298226B1 | 2018-03-20 |
Foreign References:
| WO2002020366A1 | 2002-03-14 |
Attorney, Agent or Firm:
Nishizawa Kazumi
Mitsunaga Igarashi
Hiroyuki Kato
Mitsunaga Igarashi
Hiroyuki Kato