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Patent Searching and Data


Title:
改善された感度を有するMEMSマイクロフォンおよびその製造するための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6414605
Kind Code:
B2
Inventors:
ロムバッハ, ピルミン ヘルマン オットー
Application Number:
JP2016575358A
Publication Date:
October 31, 2018
Filing Date:
May 18, 2015
Export Citation:
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Assignee:
TDK株式会社
International Classes:
H04R19/04; H04R31/00
Domestic Patent References:
JP2015502693A
JP2015502692A
JP2007295516A
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人ナガトアンドパートナーズ