Title:
搬送ハンド、搬送装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法及び保持機構
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6442563
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】被搬送物を高い位置決め精度で保持するのに有利な搬送ハンドを提供する。【解決手段】被搬送物を保持する搬送ハンドであって、基台と、前記被搬送物を吸着するパッドと、前記基台に固定され、前記パッドを支持する第１弾性部材と、を有し、前記第１弾性部材は、それぞれが前記パッドを支持する３つ以上の支持部を含み、前記パッドが前記被搬送物の形状に倣うように、鉛直方向の剛性が水平方向の剛性より低くなるように構成されていることを特徴とする搬送ハンドを提供する。【選択図】図３
Inventors:
Matsudaira Taisho
Application Number:
JP2017107066A
Publication Date:
December 19, 2018
Filing Date:
May 30, 2017
Export Citation:
Assignee:
Canon Inc
International Classes:
H01L21/677; B25J15/06; B65G49/07; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2271644A | ||||
| JP2015160306A | ||||
| JP10308405A | ||||
| JP2016157822A | ||||
| JP2015013359A | ||||
| JP8017896A | ||||
| JP2003100848A |
Attorney, Agent or Firm:
Yasunori Otsuka
Yasuhiro Otsuka
Shiro Takayanagi
Shuji Kimura
Osamu Shimoyama
Nagakawa Yukimitsu
Yasuhiro Otsuka
Shiro Takayanagi
Shuji Kimura
Osamu Shimoyama
Nagakawa Yukimitsu