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Title:
感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6442965
Kind Code:
B2
Inventors:
大▲崎▼ 仁視
生井 準人
Application Number:
JP2014206770A
Publication Date:
December 26, 2018
Filing Date:
October 07, 2014
Export Citation:
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Assignee:
JSR株式会社
International Classes:
G03F7/039; C08F22/20; C08F22/22; G03F7/038
Domestic Patent References:
JP7181677A
JP2003207885A
JP2015138238A
JP2001088446A
JP2005298393A
Attorney, Agent or Firm:
天野 一規
池田 義典
小川 博生
石田 耕治
各務 幸樹
根木 義明
藤中 賢一



 
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