Title:
傾斜角度量算出装置、試料台、荷電粒子線装置およびプログラム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6458920
Kind Code:
B1
Abstract:
試料台の上の載置された試料の表面に荷電粒子線を入射させる荷電粒子線装置に用いられ、試料に対する荷電粒子線の入射方向の変更に必要となる試料および／または荷電粒子線の、傾斜方向および傾斜量を制御するための指令値である傾斜角度量を算出する装置であって、試料に対する荷電粒子線の入射方向が所定の入射方向である状態における、表面の選択された位置の結晶の結晶座標系に対する荷電粒子線の入射方向を表す図である結晶方位図上で指定された、荷電粒子線の結晶に対する入射方向を示す情報に基づいて、傾斜角度量を算出する傾斜角度量算出部を備える、傾斜角度量算出装置。
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Inventors:
Takashige Mori
Amino Takefumi
Naoki Maruyama
Akira Taniyama
Shunsuke Taniguchi
Chie Yokoyama
Amino Takefumi
Naoki Maruyama
Akira Taniyama
Shunsuke Taniguchi
Chie Yokoyama
Application Number:
JP2018554415A
Publication Date:
January 30, 2019
Filing Date:
May 31, 2018
Export Citation:
Assignee:
Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation
International Classes:
H01J37/20; H01J37/244; H01J37/28
Domestic Patent References:
| JP2001027619A | 2001-01-30 | |||
| JP2001296258A | 2001-10-26 | |||
| JP2003121394A | 2003-04-23 | |||
| JP2016139513A | 2016-08-04 |
Foreign References:
| US5179280A | 1993-01-12 | |||
| US5557104A | 1996-09-17 |
Other References:
杉山 昌章 他: "鉄鋼材料中の転位像観察に対するＳＥＭ法の応用", 日本電子ニュース, vol. 43, JPN6018046376, 2011, pages 7 - 12, ISSN: 0003926690
Attorney, Agent or Firm:
Patents corporation Blitas