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Patent Searching and Data


Title:
有機パターン埋め込み用組成物、パターン形成方法、及び、電子デバイスの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6467033
Kind Code:
B2
Inventors:
浅川 大輔
後藤 研由
加藤 啓太
Application Number:
JP2017500557A
Publication Date:
February 06, 2019
Filing Date:
January 21, 2016
Export Citation:
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Assignee:
富士フイルム株式会社
International Classes:
G03F7/11; C08F22/02; C08F22/12; C08F22/20; C08G63/02; C08G65/00; C08G65/08; G03F7/20
Domestic Patent References:
JP2010039035A
JP2010072473A
JP2014178671A
JP2014157301A
JP2011215315A
JP2016006493A
Foreign References:
WO2016017346A1
Attorney, Agent or Firm:
渡辺 望稔
三和 晴子
伊東 秀明
三橋 史生