Title:
リン化インジウム結晶基板
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6521198
Kind Code:
B1
Abstract:
リン化インジウム結晶基板は、直径が１００ｍｍ以上２０５ｍｍ以下で厚さが３００μｍ以上８００μｍ以下で、フラット部およびノッチ部のいずれかを含み、第１フラット部領域および第１ノッチ部領域のいずれかにおいて、硫黄原子濃度が２．０×１０18ｃｍ-3以上８．０×１０18ｃｍ-3以下の場合は平均転位密度が１０ｃｍ-2以上５００ｃｍ-2以下であり、スズ原子濃度が１．０×１０18ｃｍ-3以上４．０×１０18ｃｍ-3以下または鉄原子濃度が５．０×１０15ｃｍ-3以上１．０×１０17ｃｍ-3以下の場合は平均転位密度が５００ｃｍ-2以上５０００ｃｍ-2以下である。
Inventors:
Nishioka Shiyuki
Kouike Kazuaki
Takuya Yanagisawa
Yasuaki Higuchi
Yoshiaki Hagi
Kouike Kazuaki
Takuya Yanagisawa
Yasuaki Higuchi
Yoshiaki Hagi
Application Number:
JP2018566315A
Publication Date:
May 29, 2019
Filing Date:
February 23, 2018
Export Citation:
Assignee:
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
International Classes:
C30B29/40
Domestic Patent References:
| JP2012031004A | 2012-02-16 | |||
| JP2000103699A | 2000-04-11 | |||
| JPH05339100A | 1993-12-21 | |||
| JP2006203071A | 2006-08-03 | |||
| JPH09321105A | 1997-12-12 | |||
| JPH08119800A | 1996-05-14 |
Foreign References:
| WO2004106597A1 | 2004-12-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Fukami patent office