Title:
表面改質装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6574994
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】 高エネルギーの励起ガスの噴出幅を広くでき、しかも、処理対象物にダメージを与えることなく改質処理ができる表面改質装置を提供すること。【解決手段】 ガス供給源に接続したガス通路４を備えた本体１に、上記ガス通路４の出口４ａ側に連続させた対向間隔を備えた一対の放電電極５，６と、上記対向間隔に隣接して設けられ、通過ガス流に絞り効果を発揮するとともに上記ガス通路に直交する方向に幅広がりで平たい形状の拡散孔９とを備え、上記拡散孔９を通過するガス流によって扇状に拡散された放電域を内部に閉じ込める絶縁性の覆い部材２が上記本体に連続して設けられ、この覆い部材には上記放電域で励起された励起ガスを噴出する噴出口３が設けられている。【選択図】 図１
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Inventors:
Satoshi Sugimura
Satoshi Ogiso
Masahiro Sasaki
Satoshi Ogiso
Masahiro Sasaki
Application Number:
JP2018198250A
Publication Date:
September 18, 2019
Filing Date:
October 22, 2018
Export Citation:
Assignee:
Kasuga Electric Co., Ltd.
International Classes:
B01J19/08; H05H1/26
Domestic Patent References:
| JP2012038469A | ||||
| JP3272600A | ||||
| JP63157868A | ||||
| JP2008231471A | ||||
| JP2008257958A |
Foreign References:
| WO2009028084A1 | ||||
| WO2016067381A1 | ||||
| WO2016067379A1 |
Attorney, Agent or Firm:
Nobuyuki Shima