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Title:
ハードマスク
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6578092
Kind Code:
B2
Inventors:
シンタロウ・ヤマダ
ダヤン・ワン
サブリナ・ウォン
コン・リュウ
チェン-バイ・スー
Application Number:
JP2014179115A
Publication Date:
September 18, 2019
Filing Date:
September 03, 2014
Export Citation:
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Assignee:
ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー
Rohm and Haas Electronic Materials LLC
International Classes:
C08L85/00; C07C49/92; C07D251/32; C08G79/14
Domestic Patent References:
JP2005289885A
JP2005247595A
JP2006508377A
JP2002053669A
Foreign References:
Attorney, Agent or Firm:
特許業務法人センダ国際特許事務所