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Patent Searching and Data


Title:
ゲルマニウムの化学機械研磨
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6603309
Kind Code:
B2
Inventors:
ツァイ チー-ピン
イエ ミーン-チー
グレン ホワイトナー
ルゥ ルン-タイ
Application Number:
JP2017510574A
Publication Date:
November 06, 2019
Filing Date:
June 17, 2015
Export Citation:
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Assignee:
キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション
International Classes:
H01L21/304; B24B37/00; C09K3/14
Domestic Patent References:
JP2013080751A
JP2010515257A
JP2007012638A
Foreign References:
WO2013157442A1
US20140170852
WO2014014751A1
Attorney, Agent or Firm:
青木 篤
石田 敬
古賀 哲次
蛯谷 厚志
胡田 尚則
出野 知
木村 健治