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Patent Searching and Data


Title:
レジストパターン形成装置およびレジストパターン形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6605876
Kind Code:
B2
Inventors:
細田 浩
稲尾 吉浩
佐藤 晶彦
小西 清孝
Application Number:
JP2015158946A
Publication Date:
November 13, 2019
Filing Date:
August 11, 2015
Export Citation:
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Assignee:
東京応化工業株式会社
International Classes:
H01L21/027; G03F7/20; G03F7/30
Domestic Patent References:
JP2013114238A
JP2008164789A
JP2013110194A
JP2008166316A
JP2011091374A
JP2015064516A
JP10256118A
JP2013206858A
JP2004319559A
Foreign References:
US20110304053
WO2015002183A1
US20030003407
WO2013015157A1
Attorney, Agent or Firm:
棚井 澄雄
松本 将尚
宮本 龍
飯田 雅人



 
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