Title:
搬送駆動機構
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6799193
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】環状かつ等速運動を行う搬送駆動部材を用いて基板保持器の搬送を行う搬送駆動機構において、基板保持器を搬送駆動部材に搬入する際の効率を向上させることができる技術を提供する。【解決手段】本発明の搬送駆動機構は、環状かつ等速運動を行う搬送駆動部材１６と、搬送駆動部材１６に向って基板保持器１０が通過する搬入搬送経路７と、搬送駆動部材１６に付随し、搬入搬送経路７を通過する駆動部１７とを有する。駆動部１７の搬入搬送経路７における通過速度が、搬送駆動部材１６の等速運動から導かれる非線形速度となるように構成され、搬入搬送経路７において、基板保持器１０を、駆動部１７の非線形速度を目標値とする所定の速度で搬送することにより、駆動部１７の位置に対して基板保持器１０の相対位置を同期させる位置同期手段を備える。【選択図】 図５
Inventors:
Taisei Takagi
Toshiyuki Koizumi
Yusaku Suzuki
Yamauchi Kazunori
Ichinohe Naruhiro
Toshiyuki Koizumi
Yusaku Suzuki
Yamauchi Kazunori
Ichinohe Naruhiro
Application Number:
JP2020128516A
Publication Date:
December 09, 2020
Filing Date:
July 29, 2020
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
H01L21/677; B65G17/32; B65G17/48
Domestic Patent References:
| JP6654741B1 | ||||
| JP2019197815A | ||||
| JP6080246A | ||||
| JP6239440A |
Foreign References:
| WO2018084286A1 | ||||
| WO2018084214A1 | ||||
| WO2017104826A1 |
Attorney, Agent or Firm:
Junichi Omori
Mitsuru Takahashi
Teppei Nakamura
Yukinobu Hibino
Mitsuru Takahashi
Teppei Nakamura
Yukinobu Hibino