Title:
ワイヤ張力調整方法及びワイヤ張力調整装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7340301
Kind Code:
B1
Abstract:
ワイヤボンディング装置（１００）のワイヤ（１８）に印加される張力（Ｔ）を調整するワイヤ張力調整装置（６０）であって、ワイヤクランパ（１７）でワイヤ（１８）を把持した状態でワイヤテンショナ（４０）に空気を供給してボンディングアーム（１４）の先端（１４ｆ）の高さ位置（Ｈ）を検出し、検出した高さ位置（Ｈ）に基づいてワイヤテンショナ（４０）に供給する空気の流量（Ｇ）を調整することによりワイヤ（１８）に印加される張力（Ｔ）を調整する。
Inventors:
Toshihiko Toyama
Yutaka Hasegawa
Yutaka Hasegawa
Application Number:
JP2022563905A
Publication Date:
September 07, 2023
Filing Date:
October 21, 2021
Export Citation:
Assignee:
Shinkawa Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/60
Domestic Patent References:
| JP254947A | ||||
| JP2018168888A1 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office