【考案の名称】円形フオトマスクおよびウエハ-の搬送治具

Title:

【考案の名称】円形フオトマスクおよびウエハ-の搬送治具

Document Type and Number:

Japanese Patent JPS5840841

Kind Code:

U

Inventors:

Shogo Matsui
Yuri Mashima
Kenichi Kobayashi

Application Number:

JP13502381U

Publication Date:

March 17, 1983

Filing Date:

September 10, 1981

Export Citation:

International Classes:

H01L21/677; H01L21/68; (IPC1-7): H01L21/68

Previous Patent: 炭化水素油を水素化し接触分解するための、改善された一体的方法

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