新規な含フッ素重合体およびそれを用いたレジスト組成物ならびに新規な含フッ素単量体

Japanese Patent JPWO2003031487

A1

【請求項１】式（Ｍａ）：［式中、構造単位Ｍ１が、炭素数２または３のエチレン性単量体であって少なくとも１個のフッ素原子を有する単量体に由来する構造単位、構造単位Ｍ２ａが、式（ａ）：（式中、Ｒ１は炭化水素基または含フッ素アルキル基で置換されていても良い環を形成する炭素数が１〜８の二価の炭化水素基、炭化水素基または含フッ素アルキル基で置換されていても良い環を形成する炭素数と酸素数の合計が２〜８のエーテル結合を有する二価の炭化水素基よりなる群から選ばれる少なくとも１種の炭化水素基；Ｒ２は環を形成する炭素数が１〜３のアルキレン基；Ｒ３およびＲ４は同じかまたは異なり、いずれも炭素数が１または２の二価のアルキレン基；ｎ１、ｎ２、ｎ３は同じかまたは異なり、いずれも０または１）で示される主鎖中に脂肪族単環構造を形成する少なくとも１種の構造単位、構造単位Ｎは構造単位Ｍ１、Ｍ２ａと共重合可能な単量体に由来する構造単位］で表されるポリマー主鎖中に脂肪族単環構造を有する重合体であって、構造単位Ｍ１を１〜９９モル％、構造単位Ｍ２ａを１〜９９モル％、構造単位Ｎを０〜９８モル％含む数平均分子量が５００〜１００００００の含フッ素共重合体を提供する。該含フッ素共重合体は優れた耐ドライエッチング性と真空紫外領域での透明性を有する。

荒木 孝之
石川 卓司
高 明天

JP2003534469A

January 20, 2005

October 02, 2002

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ダイキン工業株式会社

C08F214/18; C07C31/38; C07C33/42; C07C33/44; C07C35/52; C08F232/04; G03F7/004; G03F7/038; G03F7/039

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