Title:
光学部材の屈折率均質性を評価する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2003102529
Kind Code:
A1
Abstract:
光学部材の屈折率均質性の評価方法は、光リソグラフィー用光学部材（１）に光を通過させることを含む。光学部材（１）の光軸（ＡＸ）に対する側面（１ａ）を、等間隔の複数位置にて弾性部材（４）で保持し、光学部材（１）に光を通過させて波面収差を測定する。光軸（ＡＸ）の周りに等間隔だけ回転させて、再度波面収差を測定し、最初の測定値との差分を求める。光軸（ＡＸ）と直交する方向に光学部材（１）を移動し、再度波面収差を測定し、最初の測定値との差を求める。それらの差分からツェルニケ円筒関数によるフィッティングを用いて光学部材の屈折率均質性を正確に評価することができる。
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Inventors:
山口 豊
持田 昌昭
柳沢 敦士
新倉 宏
持田 昌昭
柳沢 敦士
新倉 宏
Application Number:
JP2004509368A
Publication Date:
September 29, 2005
Filing Date:
June 04, 2003
Export Citation:
Assignee:
株式会社ニコン
International Classes:
G01M11/02; G01M11/00; G03F7/20