Title:
電極層および誘電体層を含む積層体ユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2004077461
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明にかかる積層体ユニットは、溶融石英によって形成された支持基板と、支持基板上に形成され、白金よりなる電極層と、Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２で表わされる組成を有する配向性に優れたビスマス層状化合物を含む誘電体材料によって、電極層上に形成され、ｃ軸方向に配向されたビスマス層状化合物を含むバッファ層と、ＳｒＢｉ４Ｔｉ４Ｏ１５で表わされる組成を有するコンデンサ材料としての特性に優れたビスマス層状化合物を含む誘電体材料によって、バッファ層上に形成され、ｃ軸方向に配向されたビスマス層状化合物を含む誘電体層を備えている。このように構成された積層体ユニットは、ｃ軸方向に配向されたビスマス層状化合物を含む誘電体層を有しているから、たとえば、誘電体層上に、上部電極を設けて、薄膜コンデンサを作製し、電極層と上部電極との間に電圧を印加したときに、電界の方向が誘電体層に含まれているビスマス層状化合物のｃ軸とほぼ一致し、したがって、誘電体層に含まれているビスマス層状化合物の強誘電体としての性質を抑制して、常誘電体としての性質を十分に発揮させることが可能になるから、小型で、かつ、大容量の誘電特性に優れた薄膜コンデンサを作製することが可能になる。
Inventors:
Yukio Sakashita
Application Number:
JP2005502842A
Publication Date:
June 08, 2006
Filing Date:
February 18, 2004
Export Citation:
Assignee:
tdk Corporation
International Classes:
H01G4/33; C30B25/18; C30B29/32; H01L21/316; H05B33/22; H01L21/02
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Oishi