Title:
強誘電体薄膜形成用液状組成物および強誘電体薄膜の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005010895
Kind Code:
A1
Abstract:
低温度での焼成でも優れた特性の強誘電体薄膜を作製可能な薄膜形成用液状組成物、およびそれを用いた強誘電体薄膜の製造方法を提供する。液状媒体中に、一般式（Ｂｉ２Ｏ２）２＋（Ｂｉｍ−１ＴｉｍＯ３．５ｍ−０．５）２−［ｍは１〜５の整数である。］又は一般式（Ｂｉ２Ｏ２）２＋（Ａｍ−１ＴｉｍＯ３．５ｍ−０．５）２−［ＡはＢｉ３＋およびＬａ３＋であり、Ｌａ３＋／Ｂｉ３＋の比が０．０５〜０．５であり、ｍは１〜５の整数である。］で表される、平均一次粒子径が１００ｎｍ以下の結晶性強誘電体酸化物粒子が分散し、加熱により強誘電体酸化物を形成する可溶性金属化合物が溶解したことを特徴とする強誘電体薄膜形成用液状組成物を用いる。
Inventors:
Kazuo Sunahara
Hiroyuki Tomonaga
Yoshihisa Beppu
Hiroyuki Tomonaga
Yoshihisa Beppu
Application Number:
JP2005512052A
Publication Date:
September 14, 2006
Filing Date:
July 26, 2004
Export Citation:
Assignee:
Asahi Glass Co., Ltd.
International Classes:
C01G29/00; C01G23/00; C01G35/00; H01B1/22; H01B3/12; H01B19/00; H01L21/316; H01L21/8246; H01L27/105; H01L41/187; H01L41/317; H01L41/39; H01L41/43
Domestic Patent References:
| JPH06119811A | 1994-04-28 | |||
| JPH0986906A | 1997-03-31 | |||
| JP2001144263A | 2001-05-25 | |||
| JP2000332209A | 2000-11-30 | |||
| JP2003124444A | 2003-04-25 | |||
| JP2001240469A | 2001-09-04 |
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