Title:
変位素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005052966
Kind Code:
A1
Abstract:
両持ち状態の梁を有し、初期状態での絶対位置の制御性に優れた変位素子を提供する。複数の機能材料層（１３〜１６）を厚み方向に積層した構造を有する梁（１２）において、その有効撓み部分（２５）の中央部（２６）に、厚み付与部材（２７）を配置するとともに、有効撓み部分（２５）を、第１の支点（２３）と第２の支点（２４）との垂直二等分面（２８）に関して対称とし、第１の片側撓み部分（３０）については、第１の支点（２３）と第１の内端（２９）との垂直二等分面（３１）に関して対称とし、第２の片側撓み部分（３３）については、第２の支点（２４）と第２の内端（３２）との垂直二等分面（３４）に関して対称とする。
Inventors:
Masanobu Nomura
Application Number:
JP2005515737A
Publication Date:
June 21, 2007
Filing Date:
September 22, 2004
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
H01G7/00; H01G5/01; H01G5/16; H01L41/09; H01L41/187; H02K33/00; H02N1/00; H02N2/00
Domestic Patent References:
| JPH10318758A | 1998-12-04 | |||
| JPH11211748A | 1999-08-06 | |||
| JP2001280971A | 2001-10-10 | |||
| JP2003264123A | 2003-09-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Masaaki Koshiba
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