Title:
ポンプ装置及びそのポンプユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005090795
Kind Code:
A1
Abstract:
気体の流路４を横断する方向に間隔を空けて互いに平行に並べられた複数の低温物体としての平板５を有する低温平板群（低温部）Ｃと、流路４を横断する方向に間隔を空けて互いに平行に並べられた複数の高温物体としての平板６を有する高温平板群（高温部）Ｈと、これら平板群の間に温度差が生じるように少なくともいずれか一方の平板群の温度を操作する温度操作手段とをポンプ装置に設ける。平板５と平板６とは流路４の流れ方向にずらして配置され、かつ平板５と平板６との間には断熱層を介在させる。
Inventors:
Hiroshi Sugimoto
Yoshio Sone
Tetsuro Obayashi
Yoshio Sone
Tetsuro Obayashi
Application Number:
JP2006511298A
Publication Date:
February 07, 2008
Filing Date:
March 23, 2005
Export Citation:
Assignee:
Kyoto University
Osaka Vacuum Equipment Co., Ltd.
Osaka Vacuum Equipment Co., Ltd.
International Classes:
F04D19/02; F04B19/00; F04B19/24; F04B37/06; F04D33/00
Domestic Patent References:
| JPS61169680A | 1986-07-31 |
Attorney, Agent or Firm:
Koji Yamamoto