Title:
近赤外線活性型ポジ型樹脂組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006009258
Kind Code:
A1
Abstract:
（Ａ）エーテル酸素の隣にアルケニル基を有するエーテルでブロックされたアルカリ可溶性基を有するモノマー単位を有するビニル系重合体と、（Ｂ）近赤外域の光により熱を発生する光熱変換物質と、（Ｃ）熱により酸を発生する熱酸発生剤と、を含む近赤外線活性型ポジ型レジスト組成物によれば、白色灯下等の完全明室での露光処理が可能であり、所望とする感度や解像度が得られ、ベーク処理条件を緩和またはベーク処理の省略も可能である近赤外線感光型のポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供することができる。
Inventors:
Genji Imai
Shunichi Murayama
Katsuhiro Ito
Hagino Osamu
Shunichi Murayama
Katsuhiro Ito
Hagino Osamu
Application Number:
JP2006529304A
Publication Date:
May 01, 2008
Filing Date:
July 22, 2005
Export Citation:
Assignee:
KANSAI PAINT CO.,LTD.
Kyowa Hakko Chemical Co., Ltd.
Kyowa Hakko Chemical Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/039; G03F7/00; G03F7/004
Domestic Patent References:
| JPH10282670A | 1998-10-23 | |||
| JP2000035666A | 2000-02-02 | |||
| JPS60175046A | 1985-09-09 | |||
| JPH10198036A | 1998-07-31 | |||
| JP2001117223A | 2001-04-27 | |||
| JP2002116539A | 2002-04-19 | |||
| JP2002278050A | 2002-09-27 | |||
| JP2004045448A | 2004-02-12 |
Foreign References:
| WO2003006407A1 | 2003-01-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Akio Miyazaki
Ishibashi Masayuki
Masaaki Ogata
Ishibashi Masayuki
Masaaki Ogata