Title:
粘着チャック装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006046379
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】 簡単な構造の空圧機構で基板を確実に着脱する。【解決手段】 保持板１の基板側に、この基板側面１ａに開設した開口部１ｂ内で該基板側面１ａと交差する方向へ変形可能な可動膜３と、基板Ａと対向して粘着保持する粘着部材４とを設け、上記可動膜３の一次側空間５と二次側空間Ｓの圧力差で該可動膜３を往復動させることにより、粘着部材４の粘着表面４ａと基板Ａが当接して粘着保持されると共に、これら両者が強制的に引き離されて、粘着部材４の粘着表面４ａから基板Ａが無理なく剥離される。【選択図】 図１
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Inventors:
Michiya Yokota
Yoshikazu Otani
Mitsukuni Sakashita
Yoshikazu Otani
Mitsukuni Sakashita
Application Number:
JP2006542301A
Publication Date:
August 07, 2008
Filing Date:
September 28, 2005
Export Citation:
Assignee:
Shin-Etsu Engineering Co., Ltd.
International Classes:
F16B47/00; G02F1/13; G09F9/00
Attorney, Agent or Firm:
Sadayuki Hosoi
Iwasakizaki Koji
Ishiwatari Eibo
Iwasakizaki Koji
Ishiwatari Eibo