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Title:
粘着チャック装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006046379
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】 簡単な構造の空圧機構で基板を確実に着脱する。【解決手段】 保持板1の基板側に、この基板側面1aに開設した開口部1b内で該基板側面1aと交差する方向へ変形可能な可動膜3と、基板Aと対向して粘着保持する粘着部材4とを設け、上記可動膜3の一次側空間5と二次側空間Sの圧力差で該可動膜3を往復動させることにより、粘着部材4の粘着表面4aと基板Aが当接して粘着保持されると共に、これら両者が強制的に引き離されて、粘着部材4の粘着表面4aから基板Aが無理なく剥離される。【選択図】 図1

Inventors:
横田 道也
大谷 義和
坂下 光邦
Application Number:
JP2006542301A
Publication Date:
August 07, 2008
Filing Date:
September 28, 2005
Export Citation:
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Assignee:
信越エンジニアリング株式会社
International Classes:
F16B47/00; G02F1/13; G09F9/00
Attorney, Agent or Firm:
細井 貞行
岩▲崎▼ 孝治
石渡 英房