Title:
ピラニ真空計
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006057148
Kind Code:
A1
Abstract:
フィラメント温度の、気体圧力変動に対する依存度を高めて気体圧力を精度良く測定できるピラニ真空計を提供すること。内部が被測定空間ｓに臨まされるエンベロップ２と、このエンベロップ２の内部に収容されたフィラメント１と、エンベロップ２の内部でフィラメント１を囲んで設けられ、フィラメント１を挟んで対向する内壁間の最小距離が６ｍｍ以内で、かつフィラメント１の長さの８０％以上を覆う筒７とを備える。
Inventors:
Tsuyoshi Miyashita
Naoki Takahashi
Naoki Takahashi
Application Number:
JP2006547704A
Publication Date:
June 05, 2008
Filing Date:
November 07, 2005
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
G01L21/12
Domestic Patent References:
| JPH0666662A | 1994-03-11 | |||
| JPS4841093Y1 | 1973-12-01 | |||
| JPS61240135A | 1986-10-25 |
Attorney, Agent or Firm:
Yasuo Iisaka
Junichi Omori
Ori Akira
Junichi Omori
Ori Akira