Title:
端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006068014
Kind Code:
A1
Abstract:
簡易な設備で振動を低減できると共に電気的なノイズを絶縁可能であり、かつ取付け姿勢に自由度を有する端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムを提供する。フランジ凸部（２０２）には断面が矩形状で上方に向けて開口された凹部（２０６）が吸気口（１０１）回りに環状に刻設されている。凹部（２０６）の内部にはＯリング（２０７）が配設されている。Ｏリング（２０７）は凹部（２０６）より上方にはみ出したようになっている。ポンプフランジ（２０１）の周囲にはボルト（２０５）が貫通されるための貫通穴（２０９）が周状に複数箇所に形成されている。この貫通穴（２０９）には円筒状のゴム製の円筒弾性部材（２１１）が配設されている。そして、更にこの円筒弾性部材（２１１）の内側には胴部分（２１３ａ）が円筒状で円盤状の鍔部（２１３ｂ）を有するスペーサカラー（２１３）が挿入されている。
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Inventors:
Namiki
Application Number:
JP2006548878A
Publication Date:
June 12, 2008
Filing Date:
December 14, 2005
Export Citation:
Assignee:
Edwards Co., Ltd.
International Classes:
F04B37/16
Attorney, Agent or Firm:
Masatoshi Shiina
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