Title:
多層配線構造及びその形成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2007007447
Kind Code:
A
Inventors:
Nobuo Aoi
Application Number:
JP2006306637W
Publication Date:
January 18, 2007
Filing Date:
March 30, 2006
Export Citation:
Assignee:
Panasonic incorporated company
International Classes:
H01L21/314; H01L21/768; H01L23/522; H01L23/52; H01L21/3205
Attorney, Agent or Firm:
二宮 克也
井関 勝守
今江 克実
前田 弘
原田 智雄
嶋田 高久
杉浦 靖也
竹内 宏
竹内 祐二
藤田 篤史
関 啓
井関 勝守
今江 克実
前田 弘
原田 智雄
嶋田 高久
杉浦 靖也
竹内 宏
竹内 祐二
藤田 篤史
関 啓