Title:
オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置、およびデバイスの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2007072639
Kind Code:
A1
Abstract:
照明光学装置の変形照明に際して光量損失を小さく抑えることのできるオプティカルインテグレータ。本発明にかかる波面分割型のオプティカルインテグレータ（４）は、入射光に屈折作用を付与するための複数の屈折面領域（４ａ，４ｂ）と、複数の屈折面領域に対応するように設けられて入射光の進行方向を変えるための複数の偏向面領域（４ｃ，４ｄ）とを備えている。複数の屈折面領域は、第１方向（−Ｘ方向）の向きに中央が突出した弓状の外形形状を有する複数の第１屈折面領域（４ａ）と、第２方向（＋Ｘ方向）の向きに中央が突出した弓状の外形形状を有する複数の第２屈折面領域（４ｂ）とを有する。
More Like This:
| JP4435650 | Manufacturing method of micro lens |
| JP4827406 | Nesting and mold |
| JP4956278 | Mold press molding method and mold press molding equipment |
Inventors:
Osamu Yatsu
Application Number:
JP2007551008A
Publication Date:
May 28, 2009
Filing Date:
November 15, 2006
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
G02B3/00; H01L21/027; G02B3/06; G02B19/00; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Takao Yamaguchi