Title:
照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2008007633
Kind Code:
A1
Abstract:
互いに離間した２つの領域を所要の照明条件で個別に照明することのできる照明光学装置。第１照明領域（Ｍ１）を照明する第１照明系と、第２照明領域（Ｍ２）を照明する第２照明系とを備えた照明光学装置。第１照明系は、第１照明系の照明瞳での光強度分布の形状または大きさを変化させる第１可変系（１１，１３，１４）を有し、第２照明系は、第２照明系の照明瞳での光強度分布の形状または大きさを変化させる第２可変系（２１，２３，２４）を有する。第１可変系および第２可変系は、第１照明系の照明瞳での光強度分布と第２照明系の照明瞳での光強度分布とを互いに独立に変化させる。
Inventors:
Kyoji Mizuno
Koji Shigematsu
Koji Muramatsu
Hirohisa Tanaka
Osamu Yatsu
Koji Shigematsu
Koji Muramatsu
Hirohisa Tanaka
Osamu Yatsu
Application Number:
JP2008524783A
Publication Date:
December 10, 2009
Filing Date:
July 09, 2007
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
H01L21/027; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JPH0620916A | 1994-01-28 | |||
| JPH1032156A | 1998-02-03 | |||
| JPH10232497A | 1998-09-02 | |||
| JP2000021751A | 2000-01-21 | |||
| JP2002231619A | 2002-08-16 | |||
| JP2003100626A | 2003-04-04 | |||
| JP2004273860A | 2004-09-30 | |||
| JP2007281169A | 2007-10-25 | |||
| JP2007287760A | 2007-11-01 | |||
| JP2004501384A | 2004-01-15 | |||
| JP2005236088A | 2005-09-02 | |||
| JP2007027732A | 2007-02-01 | |||
| JP2000021742A | 2000-01-21 | |||
| JP2000021748A | 2000-01-21 | |||
| JP2000031028A | 2000-01-28 | |||
| JP2001297976A | 2001-10-26 | |||
| JP2003045797A | 2003-02-14 | |||
| JP2003142379A | 2003-05-16 | |||
| JP2005268781A | 2005-09-29 | |||
| JP2004519850A | 2004-07-02 |
Foreign References:
| WO2004051717A1 | 2004-06-17 | |||
| WO2006059549A1 | 2006-06-08 |
Attorney, Agent or Firm:
Takao Yamaguchi