Title:
移動体駆動方法及び移動体駆動システム、パターン形成方法及び装置、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2008026742
Kind Code:
A1
Abstract:
ステージ（ＷＳＴ）の駆動中に、エンコーダシステムのＸエンコーダとＹエンコーダとを少なくとも各１つ含む３つのエンコーダ（Ｅｎｃ１，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３）によりステージ（ＷＳＴ）の移動面内の位置情報が計測され、制御装置により、ステージ（ＷＳＴ）の移動面内の位置が切り換えの前後で維持されるように、ステージ（ＷＳＴ）の移動面内の位置情報の計測に用いるエンコーダが、エンコーダ（Ｅｎｃ１，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３）から、エンコーダ（Ｅｎｃ４，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３）に切り換えられる。このため、ステージの位置の制御に用いるエンコーダの切り換えが行われているにもかかわらず、切り換えの前後でステージの移動面内の位置が維持され、正確なつなぎが可能になる。
Inventors:
Yuichi Shibasaki
Application Number:
JP2008532138A
Publication Date:
January 21, 2010
Filing Date:
August 31, 2007
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
H01L21/027; G01B11/00; G03F7/20; H01L21/68
Domestic Patent References:
| JPH04265805A | 1992-09-22 | |||
| JPH07270122A | 1995-10-20 | |||
| JP2006054452A | 2006-02-23 | |||
| JP2002090114A | 2002-03-27 | |||
| JPS63292005A | 1988-11-29 | |||
| JP2002525858A | 2002-08-13 | |||
| JP2005283357A | 2005-10-13 | |||
| JP2005308592A | 2005-11-04 | |||
| JP2005536744A | 2005-12-02 | |||
| JP2007071874A | 2007-03-22 | |||
| JPH05129184A | 1993-05-25 | |||
| JPH07174517A | 1995-07-14 | |||
| JPH07190741A | 1995-07-28 | |||
| JPH09318321A | 1997-12-12 | |||
| JP2002151405A | 2002-05-24 | |||
| JPH04265805A | 1992-09-22 | |||
| JPH07270122A | 1995-10-20 | |||
| JP2006054452A | 2006-02-23 | |||
| JP2002090114A | 2002-03-27 |
Foreign References:
| WO2007083758A1 | 2007-07-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Tateishi