Title:
圧電マイクロブロア
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2008069266
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】逆止弁を使用せずに圧縮性流体を効率よく輸送でき、流量を確保できる圧電マイクロブロアを提供する。【解決手段】ブロア本体１に第１壁部１ａと第２壁部１ｂとを設け、ダイヤフラム５０の中央部と対向する壁部の位置に開口部５ａ，５ｂを形成する。両壁部の間に、開口部５ａ，５ｂと外部とを連通させる流入通路７を形成する。圧電素子３に電圧を印加してダイヤフラム５０を振動させると、開口部５ａ周辺の第１壁部１ａが振動し、流入通路７から気体を吸い込み、開口部５ｂから気体を排出することができる。【選択図】 図１
Inventors:
Atsuhiko Hirata
Kamiyadake
Hiroaki Wada
Sunaga Midori
Shungo Kanai
Kamiyadake
Hiroaki Wada
Sunaga Midori
Shungo Kanai
Application Number:
JP2008548326A
Publication Date:
March 25, 2010
Filing Date:
December 06, 2007
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
F04B45/04; F04B45/047
Attorney, Agent or Firm:
Hidetaka Tsutsui