Title:
排ガス除害システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009008194
Kind Code:
A1
Abstract:
大容量の排ガスを安全且つ確実に除害処理することができ、しかも運転管理が簡単でメンテナンス性にも優れた排ガス除害システムを提供する。半導体製造装置より排出された排ガス(E)が集合するメイン配管(12)と、個別入口配管(14)を介してメイン配管(12)に接続され、その内部にて個別入口配管(14)を経由して供給された排ガス(E)を除害処理する複数の排ガス除害ユニット(16)と、排気ファン(40)が取り付けられた個別出口配管(18)を介して各排ガス除害ユニット(16)に接続され、各排ガス除害ユニット(16)で除害処理した排ガス(E)を集合させて大気中に排出する排気ダクト(20)とを具備する排ガス除害システム(10)であって、各個別入口配管(14)内の圧力を測定する入口圧力センサー(24)が取り付けられると共に、入口圧力センサー(24)のそれぞれで測定した圧力が一定となるように各排気ファン(40)の回転数を制御する制御装置(22)が設けられている。
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Inventors:
Yoshihiko Inoue
Keisei Matsushita
Keishi Imamura
Keisei Matsushita
Keishi Imamura
Application Number:
JP2008526706A
Publication Date:
September 02, 2010
Filing Date:
March 24, 2008
Export Citation:
Assignee:
Kanken Techno Co., Ltd.
International Classes:
B01D53/46; B01D53/34; B01D53/70
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiaki Mori
Yuji Tada
Yuji Tada