Title:
粘着シート及び電子部品の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009028068
Kind Code:
A1
Abstract:
シート状の基材と、基材の一方の面に積層された粘着剤層と、を有する粘着シートであって、基材の一方の面における平均表面粗さが０．１μｍ以上３．５μｍ以下であり、基材の他方の面における平均表面粗さが０．０５μｍ以上０．７μｍ以下である、粘着シートを提供する。この構成によれば、粘着シートを構成する基材の両面の平均表面粗さが特定範囲内にそれぞれ調整されているため、巻き取った粘着シートを巻き戻す際に生じるブロッキングを抑制することができ、研削後のウエハ表面に微少な凹凸（波うち）が発生することも抑制することができることに加え、さらに粘着シートの透明性を維持することができる。
Inventors:
Masanobu Kutsumi
Masashi Kume
Masashi Kume
Application Number:
JP2009529917A
Publication Date:
November 25, 2010
Filing Date:
August 30, 2007
Export Citation:
Assignee:
DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA
International Classes:
C09J7/29; C09J133/14; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Kobayashi Yoshinori
Sonoda Yoshitaka
Sonoda Yoshitaka