Title:
振動装置および圧電ポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009051166
Kind Code:
A1
Abstract:
圧電体層の反りをなくし、振動によって圧電体層に引っ張り応力が作用しても圧電体層が破壊する危険性を低減する。圧電ポンプ（１００）は、圧電体素子（５４）と中間板（５３）と振動板（５１）とを備える。圧電体素子（５４）は、平板状である。中間板（５３）は、圧電体素子（５４）の主面に接合され、圧電体素子（５４）に圧縮方向の残留応力を付与する。振動板（５１）は、圧電体素子（５４）の主面に対向するように中間板（５３）に接合されて中間板（５３）から圧縮方向の残留応力が付与され、且つ、開口穴（３１）を有するポンプ室（４１）の壁面の一部を構成する。圧電ポンプ（１００）には、流体の通路が形成されている。流体の通路は、一端がポンプ室の外部に連通し、他端が開口穴（３１）を介してポンプ室（４１）に連通する
Inventors:
Atsuhiko Hirata
Kamiyadake
Kamiyadake
Application Number:
JP2009519732A
Publication Date:
March 03, 2011
Filing Date:
October 16, 2008
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
F04B45/04; F04B43/02; F04B43/04; F04B45/047; H02N2/00
Domestic Patent References:
| JP2006100622A | 2006-04-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Kaede International Patent Office