Title:
マイクロ真空計
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009096504
Kind Code:
A1
Abstract:
本マイクロ真空計は、基板と、該基板から延びる支持構造体によって基板から熱分離された状態で基板の上方に保持された浮遊構造体と、該浮遊構造体に配置されて発熱する発熱体と、浮遊構造体に配置されて基板と浮遊構造体との温度差を計測する温度センサとを備え、浮遊構造体の少なくとも表面に、発熱体及び温度センサの周囲を覆う第１部材より放射率の低い第２部材が、第１部材に接合して形成されたものである。
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Inventors:
Masafumi Kimata
Application Number:
JP2009551589A
Publication Date:
May 26, 2011
Filing Date:
January 30, 2009
Export Citation:
Assignee:
School corporation Ritsumeikan
International Classes:
G01L21/10
Attorney, Agent or Firm:
Mitsuhiko Watanabe