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Title:
フォトレジスト組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009122753
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明のフォトレジスト組成物は、脂肪族基と芳香環に水酸基を複数個有する芳香族基とが交互に結合しているポリオール化合物と、ビニルエーテル化合物とを含有する。ポリオール化合物は、例えば、脂肪族ポリオールと芳香族ポリオールとの酸触媒反応、例えばFriedel−Crafts反応により得ることができる。脂肪族ポリオールとしては脂環式ポリオールが好ましい。芳香族ポリオールとしてはヒドロキノンが好ましい。本発明によれば、LERを低減することができ、且つ、アルカリ溶解性、耐エッチング性に優れ、パターン倒れを抑制することができる。

Inventors:
堤 聖晴
奥村 有道
Application Number:
JP2010505407A
Publication Date:
July 28, 2011
Filing Date:
April 02, 2009
Export Citation:
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Assignee:
ダイセル化学工業株式会社
International Classes:
G03F7/039; G03F7/38; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
後藤 幸久