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Title:
蒸着装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009144814
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】既存の真空蒸着装置を使用するにもかかわらず、容器の蒸着時間を大幅に短縮できる蒸着装置を提供すること。【解決手段】蒸着装置は、回転軸を中心として回転可能な回転体１４を設け、回転体１４には周方向に向けて蒸着ユニットを複数配設し、回転体１４の周部に臨む位置にはマイクロ波発振器３４を配置している。蒸着ユニット１５のチャンバー本体１６の容器供給位置から容器蒸着位置へ蒸着ユニット１５が回転移動される間に容器２５内及び処理室２４内を真空装置によって予備減圧し、容器蒸着位置で蒸着ユニットと発振器３４が近接した後に、容器内及び処理室を主減圧するようにした。そして、マイクロ波発振器３４によって、容器が蒸着される。【選択図】図２

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Inventors:
Ryosuke Koishi
Toshiaki Gonda
Takahashi Yoshihiro
Application Number:
JP2009522047A
Publication Date:
September 29, 2011
Filing Date:
May 30, 2008
Export Citation:
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Assignee:
Toyo Seikan Co., Ltd.
International Classes:
C23C16/44; C23C16/511
Attorney, Agent or Firm:
Naozumi Ono
Sachiko Okunuki



 
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