Title:
容量可変素子及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2010050277
Kind Code:
A1
Abstract:
特性が互いに異なる複数種類のナノ材料からなるナノ材料層と、ナノ材料層の少なくとも一部と電気的に接続された第１の導電層と、絶縁膜を介してナノ材料層及び第１の導電層と対向する第２の導電層とを備える。
Inventors:
Kaoru Narita
Application Number:
JP2010535707A
Publication Date:
March 29, 2012
Filing Date:
July 22, 2009
Export Citation:
Assignee:
NEC
International Classes:
H01G7/06; H01G13/00
Attorney, Agent or Firm:
Akio Miyazaki
Ishibashi Masayuki
Masaaki Ogata
Ishibashi Masayuki
Masaaki Ogata