Title:
レーザ精錬装置及びレーザ精錬方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2010050450
Kind Code:
A1
Abstract:
酸化化合物が置かれる処理室内のステージと、前記ステージに置かれている酸化化合物に対して当該酸化化合物の沸点以上の温度を加える条件でレーザを照射する照射手段と、前記照射手段によって照射されたレーザによって蒸発する非酸素蒸発物が付着される付着媒体と、前記処理室内に前記非酸素蒸発物が酸化化合物となることを防止するガスを導入する導入手段とを備え、前記付着媒体を、前記非酸素蒸発物が酸化化合物となる前に、前記付着媒体に付着可能な位置に制御し得る、酸化化合物から効率よく酸素以外の蒸発物を収集するレーザ精錬装置。
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Inventors:
Takashi Yabe
Choizil Bar Sun Dash
Yuji Sato
Choizil Bar Sun Dash
Yuji Sato
Application Number:
JP2009546542A
Publication Date:
March 29, 2012
Filing Date:
October 27, 2009
Export Citation:
Assignee:
Electra Holdings Co., Ltd.
International Classes:
F27B17/00; C22B5/16; C22B26/22
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Tsujii
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Hashimoto Toranosuke
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Hashimoto Toranosuke