Title:
基板処理システム、基板処理方法およびプログラムを記憶した記憶媒体
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2010071101
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】インターロック信号に基づき複数の同種の機器をクラスタ制御する。【解決手段】基板処理システム１０は、ＰＭを制御するためのシリアル信号を出力する上位ＰＣ１００及び所定のインターロック条件を満たす場合、インターロック信号を出力する安全ＰＬＣ３００を有している。基板処理システム１０のＰＭには、同種の複数のＡＰＣバルブが設けられ、複数のＡＰＣバルブは互いに連動して又は非連動に動作するように、機器毎に連動又は非連動のいずれかの状態が選択される。安全ＰＬＣ３００は、所与のインターロック条件を満たされたと判断した場合、異常を示すインターロック信号を出力する。複数のＡＰＣバルブのいずれかがインターロック信号を入力した場合、すべてのＡＰＣバルブは、連動又は非連動のいずれかにかかわらず、インターロック信号の指示に従い連動して動作する。【選択図】図４
Inventors:
Yu Nishimura
Hiroyuki Takano
Nishijima Soichi
Hiroyuki Takano
Nishijima Soichi
Application Number:
JP2010542955A
Publication Date:
May 31, 2012
Filing Date:
December 14, 2009
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
H01L21/02
Attorney, Agent or Firm:
Koji Hagiwara
Tetsuo Kanamoto
Miaki Kametani
Tetsuo Kanamoto
Miaki Kametani
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