Title:
高硬度インプリント材料
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011024673
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】高硬度膜を形成するインプリント材料の提供。【解決手段】（Ａ）成分、（Ｂ）成分、及び（Ｃ）成分を含有するインプリント材料。（Ａ）成分：分子内に５個以上の重合性基を有する化合物（Ｂ）成分：分子内に２個の重合性基を有する化合物（Ｃ）成分：光ラジカル発生剤【選択図】なし
Inventors:
Junpei Kobayashi
Taku Kato
Keisuke Suto
Suzuki Masayoshi
Taku Kato
Keisuke Suto
Suzuki Masayoshi
Application Number:
JP2011528746A
Publication Date:
January 31, 2013
Filing Date:
August 17, 2010
Export Citation:
Assignee:
Nissan Chemical Industry Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/027; B29C59/00
Attorney, Agent or Firm:
Calyx
Miyazaki Yoshio
Tsutomu Kato
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