Title:
真空ドライポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011037178
Kind Code:
A1
Abstract:
この真空ドライポンプは、気体が通過するポンプ室（１０Ａ〜１０Ｅ）と、前記ポンプ室（１０Ｅ）と隣接して設けられ、油が存在する油室（２０）と、前記ポンプ室（１０Ａ〜１０Ｅ）を貫通して前記油室（２０）の内部に突出する回転軸（３０）と、前記ポンプ室（１０Ａ〜１０Ｅ）内において前記回転軸（３０）の周囲に設けられ、前記回転軸（３０）の回転に連動して回転する回転体（４０）と、前記ポンプ室（１０Ｅ）と前記油室（２０）との境界部分において前記回転軸（３０）の周囲に設けられ、前記回転軸（３０）の回転に連動して回転し、その面上に局所的に配置されて厚み方向に貫通する複数の孔（５１）を有し、前記油室（２０）から前記ポンプ室（１０Ａ〜１０Ｅ）に油が漏れることを防止する円板状の油封止部材（５０）とを含む。
Inventors:
Tomonari Tanaka
Application Number:
JP2011533021A
Publication Date:
February 21, 2013
Filing Date:
September 24, 2010
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
F04B37/16; F04C27/00; F04C27/02
Attorney, Agent or Firm:
Masatake Shiga
Shingo Suzuki
Shingo Suzuki
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